Micro and Nano Fabrication Technology, 1st ed. 2018
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Series: Micro/Nano Technologies Publisher: Springer ISBN: 9789811300974 Cover: HARDCOVER Date: 2018年07月 DESCRIPTION 本書では、高精度のミニチュア構造を製作する最先端のマイクロ・ナノ加工技術に焦点を当てる。 こうした学際的な技術には、機械、電気、光学、物理学、化学的方法や、サブトラクティブ法およびアディティブ法を用いたハイブリッド加工やネットシェイプ法も含まれる。 金属、合金、半導体、ポリマー、クリスタル、ガラス、セラミック、複合材料、ナノ材料といった材料を取り上げる。 30章からなり、5つのパートに分かれている。この分野の最新研究を扱うこれらの章では、実験研究と理論分析の両方を提供しており、小売店レベルのプロセス開発から、学術レベルの科学調査に至るまで、主要なトピックに関する重要な展望が提供されている。 さらに、本書の内容は製造技術だけでなく、機械・材料科学、光学、物理学、化学などの見識にも基づいており、非常に学際的な性質を有している。
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